電阻真空計(又叫皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開(kāi)口處與被測真空系統相連接,熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成,兩支支架引線(xiàn)與測量線(xiàn)路連接。當壓強降低的時(shí)候,由于氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩定時(shí)候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來(lái)間接測量壓強。
磁控放電真空計:
工作原理:在放電開(kāi)始時(shí),由于空間游離電子向陽(yáng)極運動(dòng)時(shí),在正交電磁場(chǎng)作用下,電子的軌跡不是直線(xiàn)而是螺旋線(xiàn)前進(jìn),又因為陽(yáng)極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽(yáng)極,而是穿過(guò)陽(yáng)極,然后受到對面陰極的拒斥,又復返回。這樣反復多次才可能打上陽(yáng)極。由于電子路程大大加長(cháng),故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱(chēng)潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓強范圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過(guò)放電顏色來(lái)判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經(jīng)很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長(cháng)。 |