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| 分子泵的工作原理是怎樣的？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2020-04-26 瀏覽：4073 次 |
分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同，利用了動(dòng)量傳遞原理，使分子定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。 分子泵在電機的帶動(dòng)下高速旋轉，采用變頻電源驅動(dòng)電機，目的是得到較高的轉速。 在分子流區域內，氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上，產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象，利用這一現象制成的真空泵稱(chēng)為牽引分子泵(蓋德泵)。 牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故降，而且制造困難，實(shí)際上很少應用。后來(lái)對牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現了渦輪分子泵，如下圖所示。 渦輪分子泵內有多組相間動(dòng)輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，實(shí)際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動(dòng)片、定片、動(dòng)片等依次交替排列，動(dòng)葉片轉動(dòng)時(shí)又類(lèi)似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側抽到另一側。提高分子泵的轉速，有利于提高分子泵的抽速。 由于葉片轉速限制，如果氣體分子運動(dòng)速度較大，泵抽真空就比較困難。 可以看出，渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過(guò)高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高，可達10-8 pa。 正常工作時(shí)需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200pa之間，可采用機械泵作為前級泵，就是由分子泵和機械泵組成的高真空機組。由于渦輪分子泵的轉速高，通常用中頻電機帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400HZ之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。 復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體，能在很寬的壓力范圍10-6~1pa內，具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。 本文由真空鍍膜機廠(chǎng)家愛(ài)加真空收集自真空技術(shù)網(wǎng)，僅供真空愛(ài)好者學(xué)習，版權歸原作者所有! |
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