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| 低溫泵的原理是什么？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2019-09-18 瀏覽：3255 次 |
低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來(lái)獲得和保持真空。低溫泵抽除氣體的方式主要有兩種形式：低溫冷凝和低溫吸附，如圖1所示。 低溫泵主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級冷板等組成。為了監測到低溫泵的使用情況，在障板、冷屏以及二級冷板上安裝了硅二極管，可以監測到低溫泵內的溫度。 低溫泵是依靠小型制冷機提供冷量，將二級冷板冷卻到12K以下，使低溫表面具備抽氣能力。 利用液氮提供80K左右的冷屏蔽，為二級冷板提供冷背景，并冷凝大量水汽等，保證冷板具備持續抽氣能力，提高極限真空。 不銹鋼泵殼提供密封環(huán)境，支撐內部和外部設備及部件，形成泵體。 泵口的障板主要是為進(jìn)入泵內的氣體遇冷，并冷凝部分氣體，保護冷板不受熱沖擊。 這三部分從外到內溫度從高到低，要求互不接觸， 互相熱隔絕，逐層提供冷屏蔽。 本文由真空鍍膜機廠(chǎng)家愛(ài)加真空收集自互聯(lián)網(wǎng)，僅供學(xué)習和參考! |
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