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　　檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

　　1、檢查翻面信號源位置

　　2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時(shí)，證明問(wèn)題在翻面控制開(kāi)關(guān)上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線(xiàn)路，然后更換控制卡。

　　掩膜夾具翻轉不穩定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機

　　2、檢測翻面控制開(kāi)關(guān)工作是否穩定，可用指針萬(wàn)用表跟蹤監測。

　　3、檢查翻轉機構動(dòng)作是否靈活可靠

　　4、檢查翻面信號次數設置

　　5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有摩擦現象

　　6、檢測旋轉工作臺在轉動(dòng)時(shí)的穩定性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片本身是否散差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調節修正板

　　3.檢查一下?lián)醢逶陂_(kāi)、關(guān)時(shí)是否完全遮擋住鉬舟

　　4.檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀(guān)察一下監控片是否存在跳頻現象

　　2、反復測量統一監控片觀(guān)察振蕩器的穩定性(不超過(guò)75Hz)

　　3、檢查冷卻水是否通暢

　　4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　5、監控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監控片

　　鍍膜頻率不停止:

　　1、檢查頻率參數設置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監控片是否跳頻

　　5、修正系數是否錯誤

　　6、在出現非正常退后是否更換過(guò)監控片

　　測試不到頻率:

　　1、更換一下監控片

　　2、檢查一下測試彈片是否變形

　　3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探頭問(wèn)題，若無(wú)頻率，用計數器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無(wú)正常輸出證明振蕩器有問(wèn)題，有正常輸出但計算機無(wú)顯示證明控制卡有問(wèn)題

　　控制閥均不動(dòng)作:

　　1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電

　　控制閥個(gè)別不動(dòng)作

　　1、檢查相應的固態(tài)繼電器是否有輸出

　　未達到真空度就工作:

　　1、數字真空計出現不正常數字，且30秒內無(wú)變化，例如0.00-4(國產(chǎn)真空計常見(jiàn))現象

　　2、指針表在真空計打開(kāi)30秒后，黑色指針仍不擺動(dòng)

　　監控片使用原則

　　1、監控片表面要清洗干凈

　　2、監控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時(shí)以上禁止使用

　　3、監控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用過(guò)程中要記錄好使用批次，嚴禁出現新舊混用

　　5、監控片反復使用壽命為3次。

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