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　　真空鍍膜的過(guò)程中有時(shí)會(huì )產(chǎn)生噴點(diǎn)及潮斑(花斑)，這些噴點(diǎn)、潮斑(花斑)極大的影響了薄膜的品質(zhì)，降低產(chǎn)品的合格率。本文將對噴點(diǎn)、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探討。

　　一.噴點(diǎn)形成的原因

　　鍍膜過(guò)程中產(chǎn)生噴點(diǎn)主要有以下幾種原因:

　　1.鍍膜材料純度不高，含雜質(zhì)較多,預熔過(guò)程中無(wú)法將這些雜質(zhì)去除,蒸鍍過(guò)程中雜質(zhì)濺上工件表面形成噴點(diǎn)。

　　2.材料較為潮濕,預熔時(shí)電子槍光斑不能將表面的材料全部熔化,在蒸鍍過(guò)程中也容易產(chǎn)生噴點(diǎn)(這種情況在用國產(chǎn)電子槍鍍制MgF2及一些直接升華的材料時(shí)較易發(fā)生)。

　　3.鍍膜前對材料進(jìn)行預熔時(shí)不夠充分,蒸鍍過(guò)程中材料里的細小顆粒濺上工件表面形成噴點(diǎn)。

　　4.鍍膜過(guò)程中,電子槍束流過(guò)大引起的材料飛濺產(chǎn)生的噴點(diǎn)。

　　二.潮斑形成的原因:

　　1.清洗液配比不好,含有較多水份,清洗后工件表面留有殘跡,鍍膜后形成花斑。

　　2.鍍制兩個(gè)面以上的工件時(shí),一面鍍制完成,清洗第二面時(shí),鍍制完的一面受到污染,在第二面鍍膜后形成花斑。

　　3.工件本身含有的水份(工件白片制作過(guò)程細解),在蒸鍍前的烘烤過(guò)程中逸出,蒸鍍后形成潮斑。

　　4.鍍膜夾具在烘烤過(guò)程中會(huì )有水汽以及其它廢氣排出,蒸鍍后在工件表面形成潮斑且對鍍膜后的光學(xué)特性產(chǎn)生影響。

　　三. 針對以上噴點(diǎn)、潮斑(花斑)的成因,在生產(chǎn)中采取了以下一些措施以消除噴點(diǎn)、潮斑(花斑):

　　1.選擇可靠的材料供應商,并對購買(mǎi)的每批材料在投入使用前先做一測試,判定材料的可靠性。

　　2.規范材料的領(lǐng)用、保管,(干燥缸,干燥劑)保證材料不受潮,材料性質(zhì)無(wú)變化。

　　3.規范鍍膜操作,嚴格執行預熔、蒸鍍的操作規程。蒸鍍前的材料預熔一定要徹底,鍍制某些較厚的膜層時(shí)可以采用多次預熔的方法消除噴點(diǎn)。

　　4.規范清洗操作,加強清洗后的檢查,提高清洗質(zhì)量,消除因清洗而產(chǎn)生的潮斑(花斑)。

　　5.調整烘烤溫度,消除烘烤原因產(chǎn)生的潮斑。

　　6.規范鍍膜夾具的管理。每次投入使用前,夾具需要先經(jīng)過(guò)清洗、烘烤(300度,3小時(shí)以上)才能投入生產(chǎn)。

　　7.設計鍍膜夾具時(shí),盡量采用在真空室內放氣量小的材料,同時(shí)可采取夾具表面鍍Ni的方法降低夾具的放氣量,消除由此產(chǎn)生的潮斑(花斑)。

　　通過(guò)以上這些措施,鍍膜過(guò)程中產(chǎn)生的噴點(diǎn)、潮斑(花斑)可以得到非常有效的控制。

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