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真空鍍膜時(shí)產(chǎn)品掉膜的原因分析 |
發(fā)布時(shí)間:2017-11-08 瀏覽:4467 次 |
真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來(lái)很棘手,可以考慮從以下幾個(gè)方面排除: 1、表面清潔度 產(chǎn)品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長(cháng)點(diǎn)。 2、清洗過(guò)程中的問(wèn)題 鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。 3、工藝的問(wèn)題 工藝參數是否有變動(dòng),在鍍膜時(shí)間和電流上做適當調整。 4、靶材的問(wèn)題 鈦靶是否中毒,檢查和更換。 5、真空腔是否漏氣 進(jìn)行一次撿漏。 6、產(chǎn)品表面氧化 氧化的原因很多,可以自行判斷處理。 本文由真空鍍膜機廠(chǎng)家愛(ài)加真空收集整理,僅供參考! |