1、范圍
本標準規定了真空濺射鍍膜設備的型號和基本參數，技術(shù)要求，試驗方法，檢驗規則，標志、包裝、運輸和貯存等。
本標準適用于壓力在1*101～5*10-3Pa范圍的真空濺射鍍膜設備。
2、型號與基本參數
2.1 設備的型號應符合JB/T7673規定。
2.2設備的基本參數應符合表1的規定。
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參數名稱(chēng)
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參數數值
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A
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B
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極限壓力Pa
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≤5*10-4
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≤5*10-3
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恢復真空抽氣時(shí)間min
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從大氣壓至7*10-3 Pa ≤20
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從大氣壓至7*10-2 Pa ≤10
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升壓率Pa/h
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≤8*10-1
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≤2.5
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濺射電流變化率
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<正負5%
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3、技術(shù)要求
3.1設備正常工作條件
3.1.1溫度：10度-30度
3.1.2相對濕度：不大于75%
3.1.3冷卻水進(jìn)水溫度：不高于25度
3.1.4冷卻水質(zhì)量：城市自來(lái)水或質(zhì)量相當的水
3.1.5供電電源：380V、三相四線(xiàn)制、50Hz，電壓波動(dòng)范圍：361~399V,頻率波動(dòng)范圍：49～51Hz.
3.1.6環(huán)境：室內應整潔；地面、天花板及設備周?chē)鷫Ρ趹蓛?；空氣應清潔，不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?；驓怏w存在。
3.2結構要求
3.2.1設備中靜、動(dòng)密封圈的結構形式及尺寸應符合GB/T6070和JB/T1090-1092的規定。
3.2.2真空管道上和鍍膜室靠近排氣口位置上應裝真空測試十分規管，分別測量各部位的壓力。
3.2.3如果設備以油擴散泵或油擴散噴射泵為主泵，應在其進(jìn)氣口一側安裝油蒸氣捕集阱。
3.2.4鍍膜室應設有觀(guān)察窗，對在鍍膜過(guò)程 中發(fā)生射線(xiàn)的設備，觀(guān)察窗上應加裝防射線(xiàn)鏡片。
3.3制造質(zhì)量
設備的制造質(zhì)量要求按GB/T11164-1999中的4.4
3.4安全防護要求
設備的安全防護要求按GB/T11164-1999中的4.5
4、試驗方法
4.1極限壓力
4.1.1試驗條件
a）鍍膜室內為空載（即不放被鍍物品，也不進(jìn)行濺射），不得拆去設備正常工作時(shí)應安裝的濺射源、工件支架等部件；
b）真空測量規管應裝于鍍膜室靠近排氣口位置上；
c）允許在抽氣過(guò)程中用設備本身配有的加熱或轟擊裝置對鍍膜室進(jìn)行除氣。
4.2鍍膜室恢復真空抽氣時(shí)間
4.2.1試驗條件
按4.1.1。
4.3升壓率
4.3.1試驗條件
按4.1.1
4.3.2試驗方法
按GB/T11164-1999中的5.3.2
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