第一章 電子槍
1電子槍槍頭罩
電子槍頭罩
須每日清潔一次清潔的目的是清除膜料的殘留物及其他異物資進(jìn)入槍頭內部而容易導致產(chǎn)生電壓上升,掃描偏移和加快電阻絲的氧化反應以及蒸發(fā)膜料時(shí)產(chǎn)生氣體而產(chǎn)生靜電現象。
11清潔方法
1分解槍頭罩后進(jìn)行噴沙方式清潔
2噴沙必須只操作槍頭罩的外部
3槍頭罩的內里面絕對不可以噴沙
如果對內部經(jīng)常性噴沙處理會(huì )導致固定螺絲的磨損使得組裝時(shí)不再扣緊,如長(cháng)時(shí)間噴沙處理嚴重影響或損壞螺紋結構導致組裝后出現槍頭的中心與電阻絲的中心部位不吻合。
此因素會(huì )導致以下問(wèn)題
?、匐娮邮鴴呙杵苹蜃兓?/p>
?、陔娮邮W動(dòng)現象
?、坼兡l件變化
?、茈娮悠骷墓收系?。
12 槍頭分解事項
內容電子槍頭在更換電阻絲時(shí)進(jìn)行清潔。
1電阻絲更換周期如下
例A品電阻絲更換使用時(shí)Zro2蒸發(fā)時(shí)所顯示的電流值為 240A左右 IC/5
中 Zro2的速率設定為6.5 Rate時(shí)電阻絲使用較長(cháng) Zro2的電流值會(huì )上
升到 270~280左右。
電阻絲上有異物資或電阻絲已發(fā)生氧化都會(huì )產(chǎn)生電流上升現象這時(shí)可對電阻絲氧化反應現狀進(jìn)行直觀(guān)確認。
2槍頭清潔方式
?、?/p>
對槍頭建議不采用噴沙方式進(jìn)行清潔。 如確切需要采用噴沙方式清潔可在不分解槍頭的狀態(tài)下進(jìn)行,之后將槍頭分解對表面的殘留物資進(jìn)行清潔后組裝即可。
?、?/p>
進(jìn)行噴沙清潔時(shí)盡可能對槍頭固定部分和螺紋部分避免噴沙對固定部分用細砂紙輕微擦拭。
固定電阻絲部分如果噴沙會(huì )有損傷導致緊固電阻絲時(shí)不緊密和偏形等結果以上因素會(huì )導致以下問(wèn)題
(.)光斑形狀不規則
(.)光斑定位偏移 (.)會(huì )成為數據條件變化的因素。
13 電子槍掃描架
1電子槍角鐵在清潔中必須慎重管理。
電子槍角鐵合金材料物性雖然是強性但通過(guò)延續使用過(guò)程中因電子槍的高熱而會(huì )轉變?yōu)檐浶元元缬鲚^強沖擊會(huì )導致變形特別注意在噴沙過(guò)程中不可仍?huà)佄铿F象清潔過(guò)程中一定要注意。
2如果上述因素而導致角鐵變形
延續產(chǎn)生以下問(wèn)題光斑不穩/光斑大小調整異常/ 掃描等不穩定狀態(tài)。
3有時(shí)電子槍的角鐵與基臺之間沒(méi)有固定部分前提下組裝
再加上操作者不注意將導致每次的光斑位置不同延伸可導致光斑不移動(dòng)狀態(tài)。
角鐵上部的組裝要比下部更重要
14 電子槍部件
組成部件
1 坩堝盤(pán)
2電子槍 角鐵
3掃描線(xiàn)圈接點(diǎn)
4磁力 線(xiàn)圈
5) 冷卻水入口
6坩堝盤(pán)旋轉軸
7高壓端子
8坩堝盤(pán)旋轉感應器
9旋轉電機
10掃描線(xiàn)圈
第2章 離子源
21 離子源
目前我們使用兩種模式的離子源。
1
霍爾源模式
一般在樹(shù)脂光學(xué)領(lǐng)域使用霍爾源的比率較多霍爾源的輸射角度寬設定均勻性的操作上表現非常優(yōu)越但電源電流上升限制在220V所以針對金屬材質(zhì)等產(chǎn)品的使用時(shí)比較弱而無(wú)明顯效果。
2
考夫曼模式簡(jiǎn)單說(shuō)明可以理解霍爾離子源主要為輻射角度寬電源壓低相對比考夫曼模式輻射角度小電源壓高調整作業(yè)條件時(shí)比起霍爾源難度較高但電流電源可上升到800V,對金屬材質(zhì)的產(chǎn)品等使用適當。
3
各部件
?、匐娫淳€(xiàn)固定點(diǎn)
?、陔娮杞z固定點(diǎn)
?、蹥怏w分配器 . ④冷卻水盤(pán)
?、荽趴亓⒅?/p>
?、蘩鋮s水盤(pán)固定柱
22 氣體分配器
離子源氣體分配器
1方法約使用 15日左右后更換刻蝕輔助功能同時(shí)使用時(shí)
2清潔周期清潔周期為 12小時(shí)一次
3問(wèn)題如果氣體分配器不潔凈會(huì )影響 離子反應導致影響產(chǎn)品表面膜層的牢固度。
離子反應不到位電弧加深可對產(chǎn)品造成很?chē)乐氐挠绊應?如產(chǎn)生較多異物質(zhì)中合電流值會(huì )上升
中合電流值顯示上升說(shuō)明氣體分配器的狀態(tài)不好 中合電流值應保持在 1以下最好。
4離子源燈絲
基本上電阻絲正常使用 2~3天更換電阻絲時(shí)應如下參考值
陽(yáng)極電源-80陰極電流-29.5, 放射電流-4.8,
陽(yáng)極電流-4.8 中合電流 00.0
根據電阻絲的種類(lèi)區別多少會(huì )有差距
★陰極電流值約 (21)~(20)狀態(tài)時(shí)需要更換電阻絲。
5氣體分配器
?、?氣體分配器的使用壽命月 50小時(shí)
?、谝匝坨R鍍膜為準可使用 16日~17日后給于更換
?、郦獨鍤?2分30秒氧氣 1分10秒清掃后預熱時(shí)間等等。
?、?離子源清掃每日進(jìn)行一次。
第 3章 泵
31 增壓泵
1方法確認 oil量。
2周期每周一次
3效果如發(fā)現泵油急劇減少現象出現將說(shuō)明問(wèn)題存在需要檢驗通過(guò)視窗發(fā)現泵油里積水或有明顯氣泡需將油全部更換。停止運轉并對電路等進(jìn)行檢修或從新安裝操作時(shí)必須對泵的旋轉方向進(jìn)行確認無(wú)誤后方可啟動(dòng)運轉請參考旋轉標示。
32 機械泵
1方法確認油量
2周期每天一次
3效果
必須保障油量滿(mǎn)足在上下基準顯示值范圍內
每3個(gè)月將油全部排除并作過(guò) 濾處理之后回填將不足油量補充油量補
充到油標視窗的 2/3 的高度 使用 6個(gè)月后最好將 油全部更換油過(guò)濾器--- 如有 微小的移動(dòng)空隙
就應給于清潔 或更換。
33 擴散泵
擴散泵各部件
1F/V汽缸結合部
2 M/V結合部位
3 擴散泵油注入口
4 擴散泵油排出口
5 擴散泵加熱器安裝位置
D/P 泵
擴散泵管理方法
1對擴散泵每年進(jìn)行一次全面檢查( 通過(guò)定期維護管理延長(cháng)和維持設備性
能)
2擴散泵規格為 22英寸時(shí)兩組擴散泵各注入擴散泵油 4.5升
3擴散泵規格為 24英寸時(shí)兩組擴散泵各注入擴散泵油 5.5升
4鍍膜參數變化及沉積異常/真空異常等可以現象時(shí)需要將確認擴散泵油量
※為了確認擴散泵首先將設備關(guān)閉再等到擴散泵完全冷卻以后方可允許氣體
注入
如果在正常操作狀態(tài)下擴散泵中有空氣進(jìn)入將導致擴散泵油與空氣結合發(fā)生爆炸所以特別實(shí)施注意
擴散泵問(wèn)題確認
1確認油量是否保持定量 . 如果發(fā)現油量不足必須補充到規定油量。
2確認擴散泵油的顏色是否透明 .如發(fā)現油的顏色變?yōu)樯钌ず讵オo于更換。
3確認擴散泵油里是否摻雜異物質(zhì) .如發(fā)現異物質(zhì)沒(méi)有發(fā)現顏色變化時(shí)僅將異物質(zhì)給于過(guò)濾后再使用即可。
( 如以上問(wèn)題狀況需要制定時(shí)間表來(lái)周期性操作設備檢查維護)
第 4章 冰水機冷卻機
1方法每天一次確認水箱水位
2周期每個(gè)月更換一次水
3效果首先將水箱內的水排出更換水進(jìn)行循環(huán)后再次給于更換。
如水質(zhì)因素導致水管生銹堵塞影響水的循環(huán)和壓力會(huì )導致擴散泵溫度上升甚至會(huì )有返油的現象 再者如影響到電子槍掃描線(xiàn)圈導致光斑不穩定而變化或不移動(dòng)加上低壓保護裝置而需要隨時(shí)確認冷卻水循環(huán)壓力在 3K~3.5K為最佳狀態(tài)低于2K 會(huì )導致問(wèn)題發(fā)生。
第 5章 鍍膜機氣壓調節裝置
此裝置的壓力顯示低時(shí)M/V的蓋子及各氣閥的設定壓力值不足而導致返油現象發(fā)生。
※ 目前設備的壓力值應保持在 5.5kg。
第6章 真空室
內部組成說(shuō)明
1高真空探頭
2低真空探頭
3電子槍
4離子源
5真空室冷凍機管路
6加熱燈管
頂部組成說(shuō)明
1M/V閥氣缸
2R/V閥汽缸
3L/V閥氣缸
4L/V閥消音器
第 7章 真空確認方法
相關(guān)真空的問(wèn)題發(fā)生時(shí)主要的確認方法過(guò)程是通過(guò)真空計顯示畫(huà)面的數值
確認和診斷方法
1.如操作時(shí)間比往常出現延長(cháng)狀態(tài)時(shí)主要確認真空方向
2.將作業(yè)時(shí)間與正常狀態(tài)時(shí)間作比較
3.確認真空計顯示的數值是否有反彈現象
4.確認各氣缸動(dòng)作時(shí)的真空狀態(tài)是否有泄漏現象
5.確認真空計顯示真空度是否按照一定規律順序變動(dòng)還是上下有偏差的狀態(tài)
變動(dòng)
對可疑的部位進(jìn)行丙酮噴灑并及時(shí)確認真空計顯示上的變化來(lái)確認是否有真空泄漏現象
6.M/V主閥氣缸作為多發(fā)生問(wèn)題部位主閥軸的密封圈與主軸之間的摩擦而導致磨損現象是漏真空的主要原因
7.與真空相關(guān)聯(lián)的部位結構都有密封圈所以在處理問(wèn)題時(shí)更換密封圈時(shí)直接解
決方式
8.與上述第4項內容電子槍與離子源的密封圈也可能作為問(wèn)題因素導致泄露或冷卻水微漏現象
9.電子槍旋轉裝置的齒輪軸會(huì )有泄漏現象有可能發(fā)生主要因素是軸承和軸封的老化所致更換即可
10.相對平常作業(yè)時(shí)間延長(cháng)2~3分鐘左右可以看作為操作管理的不足而產(chǎn)生的
結果 例如)
-- 將真空室門(mén)開(kāi)啟的時(shí)間過(guò)長(cháng)
-- 設備內部的濕氣導致的現象
-- 加熱燈管的污染嚴重時(shí)
-- 設備內部的污染嚴重時(shí)
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