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| 真空鍍膜設備常用真空計介紹 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-12-16 瀏覽：4871 次 |
電阻真空計(又叫皮喇尼真空計)： 它主要由電熱絲、外殼和支架構成，主要是根據在低壓下，氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開(kāi)口處與被測真空系統相連接，熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成，兩支支架引線(xiàn)與測量線(xiàn)路連接。 當壓強降低的時(shí)候，由于氣體熱傳導散失的熱量減小，因此當熱絲加熱電流穩定時(shí)候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測量熱絲電阻值的大小來(lái)間接測量壓強，有以下關(guān)系： 略 這就是電阻真空計的工作原理，此真空計的測量范圍是：100-10-1帕之間，目前采用的型號是WP-02 磁控放電真空計： 工作原理：在放電開(kāi)始時(shí)，由于空間游離電子向陽(yáng)極運動(dòng)時(shí)，在正交電磁場(chǎng)作用下，電子的軌跡不是直線(xiàn)而是螺旋線(xiàn)前進(jìn)，又因為陽(yáng)極是框形，故電子不一定第一次就碰上陽(yáng)極，而是穿過(guò)陽(yáng)極，然后受到對面陰極的拒斥，又復返回。 這樣反復多次才可能打上陽(yáng)極。由于電子路程大大加長(cháng)，故碰撞及電離的分子數增加，使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱(chēng)潘寧放電)。 目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY 放電管真空計：在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極，在其上加上數千伏的直流高電壓，在一定的壓強范圍內(1*10-3～2*10托)內就能引起自持放電，通過(guò)放電顏色來(lái)判定其真空度 目前為止這種真空計已經(jīng)很少使用，因為其誤差大，容易損壞，而且壽命不長(cháng)。 推薦閱讀 |
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