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　　當真空鍍膜機出現故障后應首先要向使用者了解故障的現象，之后要親自開(kāi)機觀(guān)察故障，這樣才能更準確、更快、更合理的排除故障。

　　排除故障應先檢測低真空是否正常(機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室)，低真空正常后再開(kāi)主泵，主泵工作正常后檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開(kāi)高閥進(jìn)行高真空檢測檢漏，直至達到工作真空，極限真空、保真空、恢復真空，如極限真空和保真空正常，而恢復真空和工作真空不正常則可能主泵有問(wèn)題。

　　以下列舉常見(jiàn)故障及維修方法：

　　一、當正在鍍膜時(shí)真空度突然下降

　　1、蒸發(fā)源水路膠圈損環(huán)(更換膠圈)

　　2、坩堝被打穿(更換坩堝)

　　3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　4、工轉動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、預閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　6、高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　7、機械泵停機可能是繼電器斷開(kāi)(檢查繼電器是否工作正常)

　　8、烘烤引入線(xiàn)電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　9、擋板動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　10、玻璃觀(guān)察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃)

　　二、長(cháng)期工作的鍍膜機抽真空的時(shí)間很長(cháng)且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空：

　　1、蒸發(fā)室有很多粉塵(應清冼)

　　2、擴散泵很久未換油(應清冼換油)

　　3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低(應清冼換油)

　　4、各動(dòng)密封膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、由于蒸發(fā)室長(cháng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)

　　6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)

　　7、各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現象(重新壓緊)

　　8、高低預閥是否密封可靠(注油)

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