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| 常見(jiàn)的蒸發(fā)鍍膜技術(shù)分析 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-12-01 瀏覽：7429 次 |
一、電阻蒸發(fā)鍍：電阻蒸發(fā)源用于蒸發(fā)低熔點(diǎn)材料，如金、銀、硫化鋅、氟化鎂、三氧化二鉻等。電阻蒸發(fā)源一般采用鎢、鉬、鉭制作。 二、電子束蒸發(fā)鍍：利用電子束加熱使膜材汽化蒸發(fā)后，凝結在基片表面成膜是真空蒸鍍技術(shù)中一種重要的加熱方法。 這種裝置的種類(lèi)很多。隨著(zhù)薄膜技術(shù)的廣泛應用，不但對膜的種類(lèi)要求繁多，而且對膜的質(zhì)量要求更加嚴格。 電阻蒸發(fā)鍍已不能滿(mǎn)足蒸鍍某些金屬和非金屬的需要。電子束熱源能獲得遠比電阻熱源更大的能量密度，數值可達到104-109w/cm2，因此可以將膜材加熱至3000-6000c。 這就為蒸發(fā)難熔金屬和非金屬材料如鎢、鉬、鍺、SiO2、AI2O3等提供了較好的熱源。而且由于被蒸鍍的材料是放在水冷坩堝內，因而可避免容器材料的蒸發(fā)及容器材料與膜材之間的反應，這對提高膜的純度是極為重要的。 另外，熱量可直接加到膜材表面上，因此熱效率高，熱傳導和熱輻射損失少。 三、電弧加熱蒸發(fā)鍍：與電子束加熱方式相類(lèi)似的一種加熱方式是電弧放電加熱法。它也具有可以避免電阻加熱材料或坩堝材料的污染，加熱溫度較高的特點(diǎn)，特別適用 于熔點(diǎn)高，同時(shí)具有一定導電性的難熔金屬、石墨等的蒸發(fā)。 同時(shí)，這一方法所用的設備比電子束加熱裝置簡(jiǎn)單，因而是一種較為廉價(jià)的蒸發(fā)裝置。 四、激光束蒸發(fā)鍍：采用高功率密度脈沖激光對材料進(jìn)行蒸發(fā)，用以形成薄膜的方法，一般稱(chēng)為激光蒸鍍 五、高頻感應加熱蒸發(fā)鍍：利用感應加熱原理把金屬加熱到蒸發(fā)溫度。 將裝有膜層材料的坩堝放在螺旋線(xiàn)圈的中央，在線(xiàn)圈中通以高頻電流，可以使金屬膜層材料產(chǎn)生電流將自身加熱升溫，直至蒸發(fā)。 感應加熱蒸發(fā)源的特點(diǎn)： 1、蒸發(fā)速率大 2、蒸發(fā)源溫度均勻穩定，不易產(chǎn)生鋁滴飛濺現象 3、蒸發(fā)源一次裝料，無(wú)須送絲機構，溫度控制比較容易，操作簡(jiǎn)單 4、對膜材純度要求略寬些。 推薦閱讀 |
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