技術(shù)中心 Technology
| 真空設備排氣工藝概述 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-11-28 瀏覽：4833 次 |
要想獲得真空，一般是靠真空系統的抽氣來(lái)完成。根據所要求的真空度和清潔度，采用不同的真空系統。一般真空系統按真空區域可分為：低、中真空系統，高真空系統，超高、極高真空系統。 它們由不同的主泵、輔助系及其它相應的真空零(部)件組成。中、低真空系統由機械泵或機械泵加羅茨泵組成，為防止油污染，還可加入分子篩阱，但在操作時(shí)要防止分子篩固體顆粒吸入機械泵中。 高真空系統主要由擴散泵、障板、冷阱、插板閥和機械泵等組成，主泵也可用渦輪分子泵或低溫泵。為進(jìn)一步減少油污染，可用濺射離子泵與鈦升華泵和低溫障板一起構成一臺無(wú)油高真空抽氣機組，其前級用吸附泵粗抽。 超高和極高真空系統最重要的標志是清潔度高，只要采用高性能的離子泵、低溫泵、渦輪分子泵和冷阱等，就可實(shí)現超高和極高真空。 各種真空系統的啟動(dòng)、停機、操作過(guò)程及產(chǎn)生故障時(shí)對污染的防護都有嚴格要求，必須遵守操作規程。 比如，機械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的壓力，否則反流污染嚴重;擴散泵在正常工作前和停泵20min內油蒸氣污染很大，故不得與真空室或冷阱相通;停機時(shí)冷阱要在與真空室隔離、排除液氮并回溫后方可停止高真空泵;吸附泵應有防壓力爆破裝置，以防回溫后產(chǎn)生事故;要防止分子篩吸附阱中的分子篩及其固體粉末吸入機械泵。 如果真空抽不上去或達不到要求，首先要檢查抽氣裝置工作是否正常，其次檢查是否存在不允許的放氣源。真空零(部)件在裝配之前，必須經(jīng)嚴格的清潔處理、烘干并檢漏，合格后方可使用。 還應檢查可拆卸部位密封圈是否清潔、良好，密封面是否有劃傷，連接是否緊密等。下面以多層絕熱低溫容器的抽氣技術(shù)為例，介紹低溫容器的真空排氣工藝。 高真空多層絕熱又稱(chēng)超絕熱。它在高真空容器中由多層的高反射率的箔(鋁箔或鍍鋁滌綸薄膜)作反射屏與多層的導熱系數低的材料(玻璃纖維制作的布或紙及尼龍網(wǎng)等)作隔熱物相互疊扎而成。 到目前為止，它仍然具有表觀(guān)導熱系數最低、絕熱效果最好及質(zhì)量輕、所占體積小等優(yōu)點(diǎn)。這種絕熱在各種低溫恒溫器、低溫貯槽、低溫輸送管道、空間飛行器、致冷器以及導電機和超導電纜等方面獲得越來(lái)越廣泛的應用。 鄉層絕熱的最低表觀(guān)導熱系數，只有在絕熱層中消除了氣體分子傳熱的情況下才能達到。 在絕熱層內壓力已小于10-2Pa時(shí)，再進(jìn)一步降低壓力對表觀(guān)導熱系數沒(méi)有明顯影響，因此它要求的工作真空度是10-zPa—l0_ 3Pa。 在多層絕熱的液氦、液氫、液氧、液氮等低溫容器中，要在5年甚至10年的使用期間始終維持10-2Pa—l0-3Pa的高真空，就必須進(jìn)行徹底抽氣和采用吸氣性能良好的低溫吸附劑(分子篩、活性炭)等一系列技術(shù)措施。 為了克服多層絕熱存在的工藝復雜、成本高、制作周期長(cháng)和工程表觀(guān)導熱系數較高等缺點(diǎn)，必須開(kāi)展有關(guān)多層絕熱排氣工藝、層間壓力分布、吸附劑活化工藝和吸附劑吸氣性能測試等研究工作。 推薦閱讀 |
  |
