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噴吹法真空檢漏技術(shù)分析
發(fā)布時(shí)間:2014-10-06 瀏覽:4095 次

  噴吹法是氦質(zhì)譜檢漏儀最常用,最方便的一種檢漏方法。

  檢漏時(shí)首先預抽被檢件,并調整檢漏儀,使其處于正常的工作狀態(tài);然后開(kāi)啟檢漏儀節流閥,使被檢件與檢漏儀連通,調整好檢漏儀,使其處于待檢漏狀態(tài);用噴槍(或噴嘴)在被檢件可能存在漏孔的部位噴吹氦氣。

  噴吹一定時(shí)間后,檢漏儀即可指示出被檢件是否存在漏孔及漏孔的漏率。

  檢漏時(shí),噴吹示漏氣體時(shí)間要適當,太短時(shí)檢漏靈敏度低,太長(cháng)時(shí)檢漏效率低。如果要求檢驗靈敏度為qldmin;當檢漏儀接在高真空側時(shí),其噴吹時(shí)間ts,可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得為

  ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ))

  當檢漏儀接在前級真空側時(shí),可求得

  ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ))

  噴槍移動(dòng)速度U與噴嘴直徑d及噴吹時(shí)間ts有如下關(guān)系

  υ=10d/ts

  檢漏時(shí),以式(15-26)計算的移動(dòng)噴槍速度進(jìn)行噴吹時(shí),較為合適。

  噴吹法檢漏可采用標準漏孔比對法確定漏孔漏率。若已知一標準漏子L的標稱(chēng)漏率為qLo,將其設置在與被檢漏孔基本相當的位置,用氦噴吹醛的輸出信號為J。,而用相同示漏氣體在同樣條件下噴吹被檢漏孔時(shí),其輸出信號為I,則被檢漏孔的漏率為

  qL=I/Is×qLo

  噴吹法檢漏時(shí)應注意的問(wèn)題是:

  (1)由于氦氣輕,噴吹檢漏時(shí),應從被檢件上方開(kāi)始檢漏,逐漸向被檢件下方移動(dòng)噴槍;由靠近檢漏儀處檢漏逐漸移至遠處;先用大氣流粗檢找出漏孔所在區域后,再用小氣流精檢以找出漏孔的確切的位置。

  (2)當存在兩個(gè)相距很近的可疑漏孔時(shí),應注意噴槍噴出氦氣流方向(或蓋住一個(gè)漏孔點(diǎn))進(jìn)行檢漏。

  (3)檢出的漏孔應復查。

  (4)檢漏場(chǎng)地要有良好的通風(fēng)條件,但不得影響噴槍噴出的氦氣的流動(dòng)的方向。

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