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| 真空鍍膜設備的真空系統構成 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-09-27 瀏覽：4215 次 |
真空鍍膜設備的真空系統構成： 目前在各種真空鍍膜設備上所配用的真空系統不但結構各不相同，而且系統的抽氣特性也隨其工作對象的不同而有很大的差別，歸納起來(lái)主要有如下幾種系統：通用真空系統、超高真空系統、制冷機低溫泵系統。 一：通用真空系統 系統的主泵是油擴散泵，泵上方設有水冷擋板(阱)，主泵的前級泵為機械泵。這種系統的工作壓強在10-2～10-4Pa的范圍內。 二：超高真空系統 在上述真空系統中加裝液氮冷阱或鈦泵，就可以使鍍膜室真空度提高到10-6Pa以上，從而得到超高真空系統。由于該系統仍采用油擴散泵，所以還是有油的系統。 鍍膜機采用分子泵系統可以獲得十分清潔的真空，有利于膜質(zhì)量的提高。分子泵抽速很大，可以縮短工藝周期。 三：制冷機低溫泵系統 使用低溫泵抽氣系統的真空鍍膜設備具有一系列優(yōu)點(diǎn)：無(wú)選擇性氣體、無(wú)碳氫化合物污染、具有較大的抽氣速率、可以獲得較低的極限壓力、操作簡(jiǎn)單、蓬盤(pán)維護方便。 推薦閱讀 |
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