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　　同一臺擴散泵，對不同種類(lèi)的被抽氣體，抽氣速率是不同的。從圖1中的相對抽速曲線(xiàn)可以看出，對氦的抽速可平行延伸到很高的真空度，對氫的抽速很大，這說(shuō)明擴散泵對較輕的氣體抽速較大，而對油的裂解物抽速卻較小。

　　因此要設法減小油的裂解物產(chǎn)生。

　　擴散泵的最大出口壓力

　　泵的最大出口壓力主要是由最后一級噴嘴結構、尺寸，蒸氣流特性決定的;為提高最大出口壓力，必須提高蒸氣射流的密度和流量，即提高加熱功率。但提高加熱功率又會(huì )影響抽速和極限壓力。

　　因此，對每種擴散泵都應經(jīng)過(guò)調試之后，給出最佳加熱功率。

　　只要泵的出口壓力不高于其最大出口壓力泵就能正常工作。

　　擴散泵油的返流

　　油擴散泵工作時(shí)，不管使用什么樣訥泵油，總有部分油蒸氣返流人高真空端。

　　這不但影響泵的極限壓力，還會(huì )對被抽容器造成污染。采用返油率評價(jià)泵的返流特性。

　　返油率是指在泵人口處，單位時(shí)間，單位面積上返回泵油的質(zhì)量。

　　不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時(shí)返油率加大。泵的第一級噴嘴結構、尺寸、形狀對返油率也有影響。

　　擴散泵返流油蒸氣的來(lái)源如圖2所示，主要有以下幾個(gè)方面：

　　a.凝結于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發(fā);

　　b.泵壁上凝結油膜的再蒸發(fā)和爬移;c.噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射;

　　d.油蒸氣由噴嘴噴出后，由于油蒸氣分子的熱運動(dòng)、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產(chǎn)生的飛濺和壓力起伏引起的油分子直接向高真空側返流。

　　在頂噴嘴上加一個(gè)優(yōu)選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽速沒(méi)有太大的影響，所以在現代擴散泵的設計中經(jīng)常采用這種結構。

　　在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一擋油環(huán)，經(jīng)實(shí)驗得知，返油率最多可減少20%。

　　在對降低泵的返油率有更高要求時(shí)，可以在抽氣系統上采用各種結構的冷阱和障板。

　　也可以設計成如圖4的低返油率擴散泵。另外，調好泵的最佳加，熱功率值的方法亦可使返油率減小。

　　在泵加熱開(kāi)始和終止時(shí)，返油率將出現峰值，可以用控制泵口處的閥門(mén)的方法來(lái)克服。

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