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　　真空鍍膜設備和真空容器達不到預期真空度的原因，除了漏氣之外，還由于材料出氣或者虛漏的原因。

　　虛漏是由于設計或制造加工工藝不當，在系統內形成貯存氣源的空穴，這些氣體在真空環(huán)境下不斷釋放形成漏氣，簡(jiǎn)稱(chēng)虛漏。

　　例如當真空設備內的緊固螺釘沒(méi)有出氣孔，焊縫交叉設計，焊接不完善留有孔穴等都會(huì )造成虛漏現象，真空設備中的冷阱若使用不當也會(huì )產(chǎn)生虛漏。

　　對于超高真空系統來(lái)說(shuō)，殘余氣體中的二氧化碳可能冷凝在液氮冷阱上成霜，這也是一個(gè)虛漏氣源。

　　漏孔地堵塞現象

　　超高真空系統容器、電鍍真空器件的漏孔往往是直徑在微米數量級的小漏孔，空氣中的塵?；蛞后w都很容易造成漏孔的堵塞，這些情況常常是暫時(shí)性的，檢漏時(shí)好像不漏，但經(jīng)過(guò)抽氣之后，又會(huì )出現漏氣。

　　為了提高檢查的準確性，一定要仔細處理好檢漏部位，盡可能不要用手去摸被檢測區域，避免塵?；蛴椭氯┛?。

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