技術(shù)中心 Technology
| 機械真空泵的發(fā)展和應用 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-08-30 瀏覽：3491 次 |
真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，目前國內產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設備性能質(zhì)量的必不可少的基礎產(chǎn)品。 高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。 中真空——干泵、渦旋泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。 粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。 真空泵的市場(chǎng)根據用戶(hù)的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。 通過(guò)對全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出，各類(lèi)真空泵的市場(chǎng)及應用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。 我國真空泵制造業(yè)有著(zhù)悠久的歷史和雄厚的基礎，國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應用并經(jīng)過(guò)驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶(hù)的認可并受到好評，應該說(shuō)我國真空泵制造業(yè)在國內外市場(chǎng)仍然有著(zhù)巨大的發(fā)展空間。 1、水環(huán)真空泵：雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領(lǐng)域仍然有著(zhù)很大的市場(chǎng)。 在國外，水環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵，所以國外知名廠(chǎng)商都在我國投資建廠(chǎng)或建立銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò )，不斷擴大在我國的市場(chǎng)份額。 由于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)水環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。 2、滑閥泵：是油封式真空泵的一種。由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠(chǎng)都在中國尋找合作伙伴。 為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(cháng)期運行的可靠性。 3、直聯(lián)旋片泵：隨著(zhù)真空技術(shù)在各個(gè)應用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國外真空廠(chǎng)商在中國建立專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)。 國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。 4、羅茨真空泵：從國外羅茨真空泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國外幾家大公司羅茨泵的銷(xiāo)售額占全球羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價(jià)格遠比國產(chǎn)泵要高得多。 目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內市場(chǎng)基礎上設法進(jìn)入國際市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀(guān)質(zhì)量，提高泵內的光潔度和清潔度。 另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長(cháng)期運行的可靠性。 5、分子泵：在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。 為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。 這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。 6、干式機械真空泵：國外干式機械真空泵市場(chǎng)的不斷增長(cháng)，其主要驅動(dòng)來(lái)自于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。 在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。 為了滿(mǎn)足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦旋式無(wú)油真空泵等。 極限壓力從10Pa～10-2 Pa，抽速從0.03m3/h～500m3/h。據統計，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%，國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。 所以，我國應大力研究開(kāi)發(fā)干泵，特別是渦旋式無(wú)油干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長(cháng)點(diǎn)。 本文由Polycold維修專(zhuān)家收集整理，愛(ài)加真空專(zhuān)業(yè)提供各種進(jìn)口真空系統銷(xiāo)售、維修服務(wù)，歡迎來(lái)電咨詢(xún)! 相關(guān)閱讀 |
  |
