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真空系統有效抽速如何判定?
發(fā)布時(shí)間:2014-08-28 瀏覽:5837 次

  真空系統的有效抽速:真空系統最重要的性能參數是其所能獲得的極限真空度和對容器的有效抽速。

  真空系統的極限真空度是指在沒(méi)有外加負荷的情況下,經(jīng)過(guò)足夠長(cháng)時(shí)間的抽氣后,系統所能達到的最低壓力。

  真空系統對容器的有效抽速是指在容器出口處的壓力下,單位時(shí)間內真空系統能夠從被抽容器中所抽除的氣體體積。真空系統對容器的有效抽速不僅取決于真空泵的抽速,也取決于真空系統管路對氣體的導通性能,即所說(shuō)的流導。

  流導的定義是:在單位壓差下,流經(jīng)管路的氣流量的大小。用一個(gè)數學(xué)式子來(lái)表示,就是

  C = Q / P1 - P2式中C - 管路的流導,m3·s;Q - 流經(jīng)管路的氣流量,Pa·m3·S-1;P1,P2 - 分別是管路的入口壓力和出口壓力,Pa。

  如果用Sp來(lái)表示真空系統對容器的有效抽速,用Sp表示真空泵的抽速,C表示真空容器出口到真空泵入口之間管路的流導,則有1 / Se = 1 / C + 1 / Sp或者寫(xiě)為Se = CSp / C + Sp = Sp / 1 + (Sp/C) = C / 1 + (C/Sp)

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