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真空鍍膜設備中擋板閥的工作原理
發(fā)布時(shí)間:2014-08-07 瀏覽:5159 次

  真空鍍膜設備中真空擋板閥原理、使用范圍:真空擋板閥的工作原理是閥板通過(guò)閥桿作上下運 磁動(dòng)而實(shí)現密封的。

  驅使閥桿運動(dòng)的傳動(dòng)部件有手動(dòng)、手電兩動(dòng)、氣動(dòng)等三種方式。

  手動(dòng)傳動(dòng)部件,以螺紋結構為主,也可以采用平凸輪結構。

  手動(dòng)兩用的傳動(dòng)部件,由電執、蝸輪、蝸桿組成的,并裝有行程開(kāi)關(guān)。

  當接通電源后,電機按某一方向(如開(kāi)啟方向)旋轉,通過(guò)蝸輪、蝸桿將閥桿帶動(dòng)作向上運動(dòng)使閥板上升,當閥板上升到一定高度時(shí),行程開(kāi)關(guān)自動(dòng)切斷電源,閥桿運動(dòng)立即停止,反之亦然。

  手動(dòng)時(shí),松開(kāi)手輪背帽,用手按一定方向轉動(dòng)手輪即可,氣動(dòng)傳動(dòng)部件以壓縮千操空氣為動(dòng)力,通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向,推動(dòng)汽缸活塞上下運動(dòng),帶動(dòng)閥桿上下運動(dòng),使閥板開(kāi)啟關(guān)閉,從而達到接通或停止氣流的目的。

  真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統接通或截止氣流。

  適用壓力范圍:軸封為橡膠時(shí),為105~1.3×10-4Pa;軸封為波紋管結構時(shí)為105~1.3×10-5Pa。

  工作介質(zhì)溫度:-25~80℃ (密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。

  閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料T-腈橡膠或氟橡膠。超高真空擋板閥用于超高真空系統接通或截止氣流。

  適用壓力范圍為105~1.3×10-8Pa等閥門(mén)開(kāi)啟狀態(tài),烘烤溫度小于400℃,閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無(wú)氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。

  這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或對閥門(mén)無(wú)腐蝕的干凈氣體。

  不適用在對金屬有強腐蝕牲和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長(cháng)期使用。

  高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn),形式多樣,規格齊全,通徑為150~120mm,結構合理等.

  因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統之中,如用于真空鍍膜設備,真空熱處理爐、真空釬焊,高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環(huán)模設備等。

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