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| 電子行業(yè)真空鍍膜靶材有哪些？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-07-17 瀏覽：4287 次 |
由于靶材種類(lèi)繁多，常用靶材一般通過(guò)真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉，真空熱壓，氣體保護熱壓，熱等靜壓等冶金手段制造，加工工藝視材料的物理特性而定。 根據材料組織結構的不同，可獲得單相、多相晶體組織，也可獲得固溶體或金屬間化合物，還根據需要獲得有序或無(wú)序結構，這些對制成薄膜都是相當重要的，因為一個(gè)好的二維結構的薄膜很大程度上取決于三維結構的靶材。 為了在靶材制備過(guò)程中質(zhì)量控制，一般采用輝光放電質(zhì)譜儀、原子吸收光譜儀、電磁感應偶合等離子體光譜儀、X射線(xiàn)顯微熒光光譜儀、掃描電子顯微探針、X射線(xiàn)衍射儀等設備進(jìn)行質(zhì)量追蹤。 為了獲得理想的薄膜，應要求靶材在幾何尺寸和形狀上非常均勻，有時(shí)為了使用方便還需將靶材與靶托進(jìn)行Bonding。 靶材與當代許多先進(jìn)科學(xué)技術(shù)有關(guān)，它的應用十分廣泛，如在電子薄膜、光學(xué)薄膜、機械薄膜、防護薄膜、裝飾薄膜等方面，而且，這些領(lǐng)域對靶材的性能要求越來(lái)越嚴格。 當高速粒子實(shí)現濺射可在任何物質(zhì)上發(fā)生，尤其高熔點(diǎn)、低氣壓和化合物等物質(zhì)都可以制成靶材，金屬及合金、難熔金屬、硅化物、氧化物、氮化物、貴金屬及其合金、磁性金屬及合金、稀土材料。   愛(ài)加真空專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售和維修各種進(jìn)口真空鍍膜設備以及美國Polycold捕集泵銷(xiāo)售、維修，歡迎來(lái)電咨詢(xún)洽談! 相關(guān)閱讀 |
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