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| 真空鍍膜所使用的靶材有哪些？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-07-10 瀏覽：8019 次 |
電子產(chǎn)品目前應用已日益廣泛，而這些電子產(chǎn)品很多都需要真空鍍膜機鍍膜后才投入使用，目前常用的真空鍍膜設備是磁控濺射真空鍍膜機，在這里我們來(lái)看一下在濺射中所使用的靶材。 一般我們使用的靶材不外乎三種類(lèi)型，金屬靶材、合金靶材、化合物靶材。 硬碟使用的靶材有很多，在記錄面上鍍上多層的薄膜，每層薄膜有各自的功效，在最底層，會(huì )鍍上40nm厚的鉻或者鉻合金，增強結合力和抗腐蝕能力，中間再鍍上15nm厚的鈷鉻合金，再鍍上35nm厚的鈷合金，作為磁性材料，這種材料可以充分體現磁性和低干擾的特性，最后再鍍上15nm厚的碳薄膜。 磁頭的濺射靶材常用的是鐵鎳合金，后來(lái)又增加了一些新的化合物材料，像氮化鐵、氮化鐵鉭，氮化鐵鋁等，這些都是優(yōu)質(zhì)的磁介質(zhì)膜層靶材。 CD碟片會(huì )用上鋁膜作為反射層鍍在塑料的工件上，但對于CDROM和DVDROM這些碟片，就不能使用鋁膜了。 因為在這些碟片上會(huì )有一層染料層，上面的物質(zhì)對于鋁而言具有一定的腐蝕性，一般會(huì )由金膜或銀膜替代。 光碟的膜層也是多層組成的，它在染料層上鍍上30nm厚的鐵鈷合金記錄層，里面混有非晶態(tài)稀土過(guò)渡元素，再鍍上20到100nm厚的氮化硅介質(zhì)層，最后鍍上鋁膜反射層。 這些需要落得磁性能，能夠記錄數據的電子產(chǎn)品，要實(shí)現這些功能，還是要靠各種不同物質(zhì)所濺射而成的薄膜，靠其成膜后顯示出來(lái)的晶體狀態(tài)排序來(lái)實(shí)現。 相關(guān)閱讀 |
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