當前位置：網(wǎng)站首頁(yè) > 技術(shù)中心
技術(shù)中心 Technology
| 真空系統最大允許漏氣率計算方式 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-06-30 瀏覽：10594 次 |
如果真空系統是一臺泵抽20個(gè)容器，真空是動(dòng)態(tài)真空。系統抽速2500L/S，系統工作壓力需要達到100pa。每個(gè)容器檢漏時(shí)是獨立檢漏的。那么最大允許漏氣率是如何計算的? 是用系統的最大允許漏率/20，因為漏率——Q漏=V(P2-P1)/t，其中Q漏： 系統漏率(Pa•l/s)V： 系統容積 (l)P1： 真空泵停止時(shí)系統中壓強(Pa) P2： 真空室經(jīng)過(guò)時(shí)間t后達到的壓強(Pa)t： 壓強從P1升到P2經(jīng)過(guò)的時(shí)間(s)如果這20個(gè)腔室的狀態(tài)一致，即漏氣速率相同，那么，不管是聯(lián)在一起還是單獨隔開(kāi)，它們在抽氣停止相同時(shí)間后達到的壓強是一致的。 因此，漏率和腔室容量成正比，而不需要考慮壓強和時(shí)間的影響。 當測出整個(gè)真空系統的漏率后，單個(gè)系統的漏率便可以由容積比分別算出來(lái)。 用公式表達如下：Q漏=V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1)/t+V3(P2-P1)/t+...+V20(P2-P1)/t=Q1漏 + Q2漏 + Q3漏 + ...+Q20漏 以上資料由愛(ài)加真空收集整理，僅供參考。 |
  |
