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真空鍍膜設備系統的安裝和使用

1 講究真空衛生
    從事真空操作的車(chē)間應當保持清潔的工作環(huán)境。對要裝配的組件和材料必須認真地進(jìn)行清潔處理。如果沒(méi)有處理好，帶到系統內的污物將成為放氣源，給執真空工作帶來(lái)困難。

    裝時(shí)應采用抽氣和找漏相結合的方法

    現以擴散泵機械泵系統為例，加以說(shuō)明。首先裝好機械泵，抽氣后達到要求的真空度再裝擴散泵并抽空檢查，符合擴散泵真空度的要求后才安裝被抽容器。決不能把很多真空元件不經(jīng)檢查，一次安裝完畢。否則，一旦發(fā)生漏氣，找漏孔就會(huì )十分困難。假如系統安裝后仍產(chǎn)生漏氣，則要采用分段檢漏方法按圖1所示，將檢漏儀器5安裝在靠近機械泵6的位置上，在閥門(mén)2.4關(guān)閉的情況下，檢漏儀器5可檢查低真空系統的漏氣情況。假如這部分不漏氣或已把漏孔堵死，則可打開(kāi)閥門(mén)4檢查擴散泵部分有沒(méi)有漏氣，最后打開(kāi)閥門(mén)2檢查被抽容器有沒(méi)有漏氣。這種方法比較簡(jiǎn)單易行而且節省時(shí)間。

    真空鍍膜設備系統分段檢漏示意圖

3 橡皮封口和金屬零件表面不得有傷痕，安裝時(shí)避免劃傷。

二、使用
真空鍍膜設備系統的使用與維護不能馬虎。首先要有好的工作環(huán)境：室內溫10-30oC，相對濕度不大于65%，冷卻水進(jìn)水溫度不超過(guò)25oC，電源的電壓允許波動(dòng)范圍±10%,。還要根據真空系統的實(shí)際情況制定合理的操作規程。第一次使用時(shí)要對所有的零部件進(jìn)行擦洗和烘烤，檢查電源線(xiàn)路是否正常，電源電壓是否符合要求。檢查各組件如機械泵、擴散泵、閥門(mén)是否正常，第一次使用時(shí)可能因長(cháng)期擱置，真空系統中各組件表面和泵油吸附很多水蒸汽和各種氣體，所以抽真空時(shí)很可能達不到要求的真空度。這時(shí)可以反復的作二、三次放氣和抽真空，使各組件和泵油充分的脫氣。如果第三次抽氣時(shí)真空度仍達不到要求，就說(shuō)明該系統可能漏氣了。

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