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    蒸發(fā)鍍膜設備工作方式就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā)、升華，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝.

    在真空條件下成膜可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過(guò)程中于分子的碰撞，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應（如氧化等），以及減少成膜過(guò)程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量，從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著(zhù)力。

    通常真空蒸鍍要求成膜室內壓力等于或低于10-2Pa，對于蒸發(fā)源與基板距離較遠和薄膜質(zhì)量要求很高的場(chǎng)合，則要求壓力更低。

蒸發(fā)鍍膜設備

1. 關(guān)閉泵加熱系統，然后分離蒸鍍室（主要清潔灰塵，于蒸鍍殘渣）
2. 關(guān)閉電源或程序打入維護狀態(tài)。真空蒸發(fā)鍍膜機
3. 清潔卷繞系統（幾個(gè)滾軸，方阻探頭，光密度測量器）
4. 清潔中罩室（面板四周）。濺控濺射鍍膜機
5. 泵系統冷卻后打開(kāi)清潔（注意千萬(wàn)不能掉入雜物，檢查泵油使用時(shí)間與量計做出更換或添加處理）
6. 檢查重冷與電氣柜設備。立式單開(kāi)門(mén)鍍膜設備

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