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   鍍膜設備真空泵就是真空獲得設備是用來(lái)產(chǎn)生和維持真空的裝置。利用真空泵把一特定容器的氣體抽走，使該容器中的壓強低于一個(gè)大氣壓，這就是真空獲得。

  目前鍍膜設備真空獲得所涉及的壓強范圍已有十幾個(gè)數量極。由于稀薄氣體分子在不同壓強范圍內氣體分子運動(dòng)特性不同，所以較寬量程壓力范圍內不可能用一種真空泵來(lái)獲得。

   由于不同類(lèi)型鍍膜設備真空泵的工作原理不同，而各有其特點(diǎn)和工作范圍。比如有些泵可直接從大氣開(kāi)始工作，有些泵則必須借助前級泵才能工作

下面列舉常用真空泵的應用特點(diǎn)：

(1)鍍膜設備旋片真空泵：又稱(chēng)機械真空泵屬于低真空泵類(lèi)。它具有從大氣直接排氣的特性，既可以單獨使用，也可作為高真空泵或超高真空泵的前級泵。

　  旋片泵的工作原理：是基于變容作用，用油來(lái)保持運動(dòng)部件之間密封，靠機械的方法來(lái)密封的容積，容積周期性增大、縮小，從而達到排氣的目的。所以旋片泵極限真空度下降，噪聲大，卡死等現象，與油的質(zhì)量和機械轉動(dòng)、零件與零件配合間隙有關(guān)。

(2)鍍膜設備油擴散泵：油擴散泵是目前生產(chǎn)中最常用的高真空泵，被廣泛用于真空電子器件的排氣車(chē)、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設備中。它的主要特點(diǎn)是在高真空下。對各種氣體都有很高的抽速，使用維護都很方便，無(wú)機械運動(dòng)，不易損壞，但不足之處不能單獨使用，必須有前級泵方可工作，測試前級壓力需達到1.33Pa。

　  油擴散泵是一種蒸氣流泵，其工作原理利用蒸流的作用來(lái)將低密度氣體壓縮為較高密度使其達到機械泵能夠作用氣體壓強范圍被抽走。由于油分子量是空氣分子量15～20倍，油分子能比空氣大一個(gè)數量級，泵油在加熱情況形成每秒200m 定向運動(dòng)的蒸氣流是油擴散泵關(guān)鍵。

    由此看來(lái)，若要擴散泵正常工作：
a．擴散泵在加熱時(shí)必須有足夠大的蒸氣壓，而在冷卻后要有足夠低的蒸氣壓。
b．一定要有前級泵才能工作，因只有油蒸氣流密度遠大于空氣密度時(shí)才能形成高速氣流。
c．要有足夠的加熱功率，使油鍋內油迅速蒸發(fā)，通過(guò)噴嘴形成定向射流。
d．要有足夠的冷卻能力，使油蒸氣碰到泵壁時(shí)能很快地冷凝為液體返回油鍋，否則冷卻不夠產(chǎn)生反擴散，降低真空度。
(3)分子泵：渦輪分子泵是靠高速轉子攜代氣體分子獲得超高真空的一種機械式真空泵，工作壓力范圍為10-1～10-8pa，它具有抽速較大，抽速范圍很寬的特點(diǎn)，分子泵適用于要求清潔的高真空和超高真空的設備上使用，但它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵、由于分子泵屬于分子動(dòng)能泵在大氣壓下啟動(dòng)分子泵、分子密度過(guò)大、泵工作要發(fā)熱損壞。

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