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真空鍍膜設備真空測量 |
發(fā)布時(shí)間:2014-02-28 瀏覽:6968 次 |
真空測量是指用特定的儀器、對某一真空鍍膜設備空間內真空度高低的量度。因此真空測量?jì)x表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類(lèi)很多,大體上可分絕對真空計和相對真空計兩大類(lèi)。凡通過(guò)測定物理參數直接計出氣體壓強的真空計稱(chēng)為絕對真空計。通過(guò)測量與壓強有關(guān)物理量,并進(jìn)行計算得到壓強值的真空計稱(chēng)為相對真空計。絕對真空計精度較高,一般作為標準用,在實(shí)際生產(chǎn)中,大都使用相對真空計。
相對真空計的校準,可用標準水銀真空計進(jìn)行對比校準。在沒(méi)有水銀真空計的條件下,可進(jìn)行滿(mǎn)偏和零位校準。滿(mǎn)偏校準是指在大氣壓條件下,把真空計調至滿(mǎn)偏,零位校準是指達到最高真空度進(jìn)行調試或用未開(kāi)封的玻璃真空規管進(jìn)行校準(標準為5.5×10-3Pa)。
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