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| 真空鍍膜機各部分的組成及工作原理 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-01-17 瀏覽：12250 次 |
高真空鍍膜機，鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備。其相關(guān)組成及各部件：機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統.
一、真空主體——真空腔 根據加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實(shí)等，真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統 此排氣系統采用“擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成 排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時(shí)候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應用于大型設備）、活塞往復式、定片式和旋片式（此目前應用最廣泛，本文主要介紹）四種類(lèi)型。 機械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過(guò)高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來(lái)抽除永久性的氣體，但是對水汽沒(méi)有好的效果，所以它不能抽除水汽。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個(gè)內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
本文就是東莞愛(ài)加真空工程師為大家所詳細介紹的真空鍍膜機組成及工作原理,更多專(zhuān)業(yè)知識，如有不明之處，請聯(lián)系東莞愛(ài)加真空。
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