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多弧磁控真空鍍膜機 應如何使用及維護
發(fā)布時(shí)間:2014-01-09 瀏覽:5307 次

    多弧磁控真空鍍膜機其工作原理是在真空狀態(tài)下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不銹鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結合牢固,適合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的發(fā)展前景。

多弧磁控鍍膜機 使用及維護
使用前各電源開(kāi)關(guān)及操作按鈕應處于斷開(kāi)位置,接通水源,氣源,電源。
1)打開(kāi)真空控制電源開(kāi)關(guān)。
2)開(kāi)維持泵對擴散泵抽低真空,并測量前級真空度。
3)待前級壓力達到5.0*10pa后,開(kāi)擴散泵加熱。
4)開(kāi)充氣閥,對鍍膜室充氣,打開(kāi)鍍膜室門(mén),裝好清洗干凈的工件,關(guān)好爐門(mén)。
5)待擴散泵正常工作一小時(shí)后,開(kāi)機械泵開(kāi)預抽閥,對真空室手抽真空至1.0*103pa,然后開(kāi)羅茨泵。
6)當壓力達到3.0*10pa后,關(guān)預抽閥,開(kāi)前級閥。開(kāi)高真閥,對鍍膜室抽高真空。
7)當真空室壓力達到8*10-3pa后開(kāi)工作旋轉,并開(kāi)加熱至設定值。
8)開(kāi)始鍍膜操作程序。
9)鍍膜操作程序結束。
10)降爐溫至100oC以下,打開(kāi)充氣閥爐門(mén)取出工件,每一爐使用之前對爐內進(jìn)行清潔。
11)一個(gè)工作周期后,要用吸塵器把鍍膜室內的粉塵吸干凈,避免短路或污染真空系統。
12)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間要取下?lián)醢暹M(jìn)行清洗。

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