做為真空設備專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家，不乏檢測儀表和專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，并有相當豐富的真空設備維修經(jīng)驗，因此，真空設備的檢測和維修應該是沒(méi)有問(wèn)題的。而作為用戶(hù)，除非技術(shù)力量雄厚，一般不具備或不完全具備條件來(lái)進(jìn)行真空設備維修。
問(wèn)：真空設備維修的要點(diǎn)是什么?
答：真空設備維修的要點(diǎn)是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時(shí)，應該耐心觀(guān)察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，這時(shí)候應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。
問(wèn)：用戶(hù)最頭痛的是什么?
答：用戶(hù)最頭疼的是檢測漏率問(wèn)題。漏分內漏和外漏；外漏比較好檢測，內漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì )發(fā)現火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵工作范圍內進(jìn)行檢漏，現在已經(jīng)生產(chǎn)ZHC．1型儀表。該檢漏儀表用ZJ．2電離規管，規管接在旋片泵吸氣口來(lái)檢測。若是擴散泵機組的話(huà)，可以檢測到l0 Pa級的漏率。
問(wèn)：小漏和微漏怎么查?
答：小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計的指針會(huì )有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再?lài)娚?。最好是反復幾次，確認漏點(diǎn)。ZHC一1儀表也可以用上述方法來(lái)檢漏，不同的是ZHC．1儀表能在旋片泵工作范圍內進(jìn)行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。
問(wèn)： 內漏和外漏怎樣查?
答：內漏多發(fā)生在有水冷套的設備上，查外漏沒(méi)有發(fā)現疑點(diǎn)。但是卻有以下現象；機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕，具備以上條件基本可以確定有內漏。有一臺25 kg中頻爐，2X一70旋片泵和ZJ．150羅茨泵兩臺泵加到一起抽也只能抽到l0 Pa，ZJ一150泵的作用顯現不出來(lái)，沒(méi)發(fā)現有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水。剩下就是查出漏點(diǎn)。先把內壁清理干凈，再通冷卻水，看有無(wú)濕潤點(diǎn)，濕潤處就是漏點(diǎn)。
問(wèn)：故障點(diǎn)找出后怎么處理?
答：找出故障點(diǎn)就可以因地制宜地進(jìn)行處理了，簡(jiǎn)單的辦法是換件，小到膠圈、螺栓，大到閥門(mén)、真空泵，只要手頭上有的都可以換；對于需要焊接的部位應按要求來(lái)進(jìn)行，焊接后還需確認達到了要求。
問(wèn)：維修應注意哪些環(huán)節?
答：維修應注意幾個(gè)環(huán)節、拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設備無(wú)論大小都屬于精密機械設備，這點(diǎn)很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時(shí)要干凈、徹底，以便于發(fā)現問(wèn)題和查出隱患；真空泵類(lèi)產(chǎn)品與一般機械產(chǎn)品有較大區別，一般機械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應多加小心，切記。檢驗是個(gè)細致活，每個(gè)細節都不要落掉，更不能存在僥幸心理。有一臺設備，用戶(hù)存放4年了，做完了常規的清理工作按部就班地連接好管路開(kāi)始抽真空，怎么也達不到出廠(chǎng)標準，什么都查了，就是一根供氣的真空膠管沒(méi)查，當時(shí)就認為真空膠管不會(huì )漏。結果恰恰相反，問(wèn)題就出在這根真空膠管上。再有，不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配，真空泵油若與其他的油或溶劑，或水混合會(huì )破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無(wú)缺陷，如裂紋等。還有尺寸是否正確，特別注意相近尺寸直徑的，像 3．1 mm 與3 mm； 5．7 mm與 6 mm的尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時(shí)必須換，比如油增壓泵各個(gè)接口。裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺釘時(shí)用力要均勻，要從對角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細心，先檢查軸封本身有無(wú)缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何。在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時(shí)用力要均勻，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì )漏油、漏氣；軸封簧別擠出去，沒(méi)了軸封簧軸封就失效了，注意軸封與軸的同心度。有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸度要求很?chē)栏?，裝配時(shí)要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。擴散泵的內壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內生產(chǎn)的擴散泵主要靠電爐絲的長(cháng)短來(lái)控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當地電網(wǎng)的實(shí)際情況來(lái)酌量增減，若K．400泵注油在分流槽上10 mm的話(huà)，K150泵就可以在分流槽上6 mm，泵的口徑大小不一樣注油量有差別；電網(wǎng)的電壓低注油可以減少2mm，只要是干凈的鋼直尺或鐵絲都可以用來(lái)測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量的多少只能供大家參考。維修切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當然地開(kāi)始動(dòng)手拆卸，會(huì )舊病未除又添新病。把本來(lái)簡(jiǎn)單的問(wèn)題搞復雜化了。
問(wèn)：應急條件下設備出故障怎樣處理?
答：常規的維修可以按部就班地去做，應急條件下設備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準確，采用手頭上現有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理。有一臺外地產(chǎn)的新鍍鏡機，正常工作月余，停機一天真空室門(mén)自己打開(kāi)了，用戶(hù)急于恢復生產(chǎn)，自行拆檢忙了兩天，沒(méi)有解決問(wèn)題。經(jīng)我們檢查發(fā)現是真空室門(mén)有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶(hù)盡快地恢復了生產(chǎn)。有一臺中頻爐，低真空l(shuí)時(shí)工作正常，在6 Pa時(shí)就放電，經(jīng)檢查發(fā)現是尖端放電造成的，根本解決問(wèn)題的辦法是大修，需時(shí)一周。根據用戶(hù)急于使用的要求，用704硅膠封閉了l放電的尖端，第二天就能正常生產(chǎn)。有一臺真空設備，供熱密封采用刀口法蘭，用戶(hù)不慎使無(wú)氧銅墊出現了“雙眼皮”，造成漏氣。該密封處的溫度低于l100℃，用戶(hù)急用，用焊錫將無(wú)氧銅墊焊平，再用乙醇將松香清洗干凈，解決了該處的密封問(wèn)題。應急的原則是在不損壞設備和不影響在制品的條件
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