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　　1、基本情況

　　我國真空行業(yè)起步于20 世紀五、六十年代，到90 年代后進(jìn)入快速發(fā)展期，近二十年真空技術(shù)應用領(lǐng)域快速擴展，目前其應用領(lǐng)域遍布國民經(jīng)濟各行業(yè)，如航天航空、核工業(yè)、冶金及冶煉、汽車(chē)行業(yè)的零部件真空熱處理，電工行業(yè)、電子信息行業(yè)生產(chǎn)半導體集成電路的主要設備、造紙行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、食品和醫藥行業(yè)等等，同時(shí)成為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供重要設備的行業(yè)，為此真空產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和技術(shù)水平直接影響國民經(jīng)濟各行業(yè)，真空行業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量的檢督和引領(lǐng)成為必要。

　　國家真空設備質(zhì)量監督檢驗中心于1987 年由真空行業(yè)唯一的國家級研究所沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所組建，是因真空行業(yè)發(fā)展的需求而建立，本中心1998 年通過(guò)中國合格評定國家認可委員會(huì )認可，是經(jīng)中國國家認證認可監督管理委員會(huì )授權的第三方檢驗檢測機構，承擔行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的監督和檢驗工作，曾4 次承擔國家真空設備質(zhì)量監督抽查任務(wù)、多次法院委托的仲裁檢驗以及新產(chǎn)品檢驗等，為真空行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量水平的提高做出了重要貢獻。

　　1.1、真空行業(yè)的產(chǎn)銷(xiāo)及總體質(zhì)量情況

　　我國真空行業(yè)產(chǎn)品主要分三大類(lèi)：1. 真空獲得設備：各類(lèi)真空泵主要有旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、水環(huán)真空泵、干泵、分子泵等;2.應用設備：真空鍍膜設備、各類(lèi)真空爐等;3.真空儀表和真空配件：各類(lèi)真空閥門(mén)和真空計等。

　　企業(yè)分布：真空行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)約有500 家，在國內的地理分布主要為五大區域，遼寧地區(包括北京)、江浙區域(包括上海)、廣東地區、山東地區、西部(包括成都、蘭州)。

　　據2010 年中國通用機械工業(yè)年鑒公布統計50 家會(huì )員企業(yè)完成工業(yè)總產(chǎn)值(當年價(jià))40.73億元人民幣，其中實(shí)現營(yíng)業(yè)收入34.48 億元，完成出口交易值2.04 億元， 完成工業(yè)銷(xiāo)售產(chǎn)值39.13 億元。

　　目前國內真空應用領(lǐng)域，國產(chǎn)獲得產(chǎn)品占主導地位，如旋片泵、水環(huán)泵、滑閥泵、羅茨泵、蒸汽流真空泵等低端真空獲得產(chǎn)品在性能方面基本能夠滿(mǎn)足不同的工藝過(guò)程要求，在國內市場(chǎng)占有率較高;部分產(chǎn)品出品的比例逐年增加。

　　對于高端產(chǎn)品(指技術(shù)含量高的產(chǎn)品)無(wú)油真空泵(干泵等)，一直以來(lái)外商品牌產(chǎn)品在國內市場(chǎng)占有率較高，但近幾年，國內廠(chǎng)家在研發(fā)和生產(chǎn)有長(cháng)足進(jìn)展，紛紛推出各種類(lèi)型的干泵產(chǎn)品，并以其較高的性?xún)r(jià)比，得到了用戶(hù)的廣泛認可，其市場(chǎng)占有率大幅度提高。

　　近十幾年，真空行業(yè)整體水平有大幅度提高，低端真空產(chǎn)品生產(chǎn)從設計水平到加工制造和性能都已趨向成熟，主要企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量比較穩定，外觀(guān)質(zhì)量有了明顯的提高，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品有些技術(shù)指標已接近或達到國際先進(jìn)水平。

　　過(guò)去長(cháng)期存在的噴油、漏油問(wèn)題近幾年得到一定的控制，泵的材料性能得到改善，目前，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品的總體質(zhì)量水平能夠達到現行行業(yè)標準要求的約90%左右，主要問(wèn)題為抽氣速率偏低，噪聲、振動(dòng)偏大。

　　蒸汽流真空泵的總體質(zhì)量水平能夠達到現行行業(yè)標準要求的約占80%左右，主要問(wèn)題為極限壓力達不到標準要求，10-2 Pa 時(shí)測量抽速壓力不穩定，造成抽速無(wú)法測量。整體看產(chǎn)品長(cháng)期運行的可靠性、噪聲和振動(dòng)等性能與國外廠(chǎng)家產(chǎn)品相比有明顯差距。

　　高端真空獲得產(chǎn)品(無(wú)油泵)發(fā)展較快，廠(chǎng)家增加迅速，發(fā)展方向由單泵向多級組合，機組化方向發(fā)展，產(chǎn)品的真空性能趨于穩定，產(chǎn)品質(zhì)量達到行業(yè)標準要求，無(wú)油泵目前市場(chǎng)占有率大幅提升，整體性能水平接近國外產(chǎn)品。

　　2、綜合分析

　　2.1、檢驗檢測情況

　　2.1.1、開(kāi)展全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測情況

　　繼1995 年最后一次國家監督抽查以后，國家不在開(kāi)展行業(yè)監督抽查為真空行業(yè)健康發(fā)展，我中心與行業(yè)協(xié)會(huì )配合，進(jìn)行不定期全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測，2009 年由行業(yè)協(xié)會(huì )委托，本中心開(kāi)展了全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測：本次檢測對旋片泵、滑閥泵、往復泵、水環(huán)真空泵、羅茨泵、油擴散泵、真空閥門(mén)7 大類(lèi)，40 余種產(chǎn)品進(jìn)行了產(chǎn)品型式檢驗。有20 余家行業(yè)內骨干企業(yè)參加，代表行業(yè)的整體水平，檢驗結果為：參檢產(chǎn)品均達到真空行業(yè)標準的要求，反映真空行業(yè)企業(yè)產(chǎn)品的性能水平整體基本達到行業(yè)標準要求。

　　目前本中心的檢測任務(wù)為企業(yè)委托檢驗檢測和新產(chǎn)品鑒定檢驗檢測。2014 年真空產(chǎn)品委托檢驗情況見(jiàn)表1。

　　表1 2014 年委托檢測基本情況表

　　2.1.2、主要性能指標情況

　　真空泵的用戶(hù)最關(guān)注的是滿(mǎn)足生產(chǎn)要求的基礎上進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率，反映到真空泵上就是真空泵的抽氣能力-“抽氣速率”，所以泵抽氣速率也是本中心的重點(diǎn)檢驗項目。由于企業(yè)和用戶(hù)均十分重視泵的抽氣能力，近幾年中心對送檢的真空泵檢驗的情況來(lái)看，該項目指標基本保持穩定，絕大多數企業(yè)產(chǎn)品達到國標要求。

　　2.1.3、干式泵檢測情況

　　隨著(zhù)整個(gè)社會(huì )環(huán)保意識的增強，油泵在醫藥、食品等許多行業(yè)領(lǐng)域將被干式真空泵所取代，實(shí)現了無(wú)油清潔真空，近年來(lái)干式真空泵在半導體產(chǎn)業(yè)和薄膜工業(yè)已廣泛應用，干式真空泵已發(fā)展到實(shí)用和普及的階段。近兩年送檢的干式真空泵數量明顯增加，對送檢的真空泵檢驗的情況來(lái)看，國內企業(yè)生產(chǎn)的干式真空泵技術(shù)指標達到行業(yè)標準的要求。

　　2.1.4、真空泵安全性指標情況

　　真空泵安全性指標較為常見(jiàn)的項目有真空泵振動(dòng)噪聲、噴油、漏油、電氣絕緣強度等，真空泵振動(dòng)噪聲：旋片泵的振動(dòng)噪聲源于泵油對閥片的沖擊，配用電機以及振動(dòng)、旋轉件等;滑閥泵的噪聲主要源于排氣、機構振動(dòng)和激勵、轉子動(dòng)平衡配合、電機與軸承以及泵油的沖擊等多種因素疊加的結果;羅茨泵振動(dòng)和噪聲源于轉子動(dòng)平衡及其也有的軸承和齒輪精度不夠，該項指標還有少部分產(chǎn)品達不到標準要求。真空泵的噴油：旋片泵滑閥泵在啟動(dòng)時(shí)，大量噴出油滴、油霧造成環(huán)境污染，使人體受到傷害。

　　主要原因為擋油裝置簡(jiǎn)單，泵出口不加油霧分離器。真空泵噴油：旋片泵、滑閥泵、羅茨泵的動(dòng)密封經(jīng)不住長(cháng)期運轉，國產(chǎn)動(dòng)密封漏油現象比較普遍。近幾年生產(chǎn)廠(chǎng)家下力氣加以解決，成效顯著(zhù)，噴油、噴油問(wèn)題基本得到解決。電氣絕緣強度，蒸汽流真空泵的加熱器與泵外殼應絕緣可靠，該項普遍都符合要求?？傮w看，真空泵安全性指標中，噪聲方面需要我們在設計、加工、選材方面深入的進(jìn)行研究，進(jìn)一步降低泵噪聲。

　　2.2、存在的問(wèn)題及原因分析

　　1)偶有①旋片泵噴油漏油;②羅茨泵、滑閥泵、干泵噪聲高于國外先進(jìn)產(chǎn)品;③擴散泵極限壓力達不到要求。真空閥門(mén)漏率達不到標準要求。

　　2) 國產(chǎn)真空泵與國外知名企業(yè)的泵相比普遍存在穩定性和可靠性較差;真空行業(yè)標準有些技術(shù)指標制定的偏低，如滑閥泵比功率和噪聲指標、擴散泵的主要技術(shù)指標，并且內容涵蓋的不夠全面，如羅茨泵的最高工作溫度、環(huán)保方面沒(méi)有規定，并且更新頻度有待加快。

　　總體看國產(chǎn)真空泵的生產(chǎn)與國外先進(jìn)水平相比在設計、加工制造、裝配、檢測等諸環(huán)節還有一定差距，但是經(jīng)過(guò)真空界的有識之士和廣大用戶(hù)的共同努力，這種差距正在不斷縮小。

　　3)原因：設計研發(fā)方面：自主創(chuàng )新投入差，缺乏自主創(chuàng )新設計，以模仿為主;選用的密封部件質(zhì)量不過(guò)關(guān)、加工手段較落后。

　　沒(méi)有有效的產(chǎn)品耐久性可靠性的檢測，產(chǎn)品可能發(fā)生故障不了解，沒(méi)有有效的技術(shù)跟進(jìn)和技術(shù)改進(jìn)，耐久性可靠性檢測因為試驗要花費大量時(shí)間和人力，在沒(méi)有強制要求的情況下，自覺(jué)的按標準要求去做的生產(chǎn)企業(yè)不多，而大多數生產(chǎn)企業(yè)不做任何可靠性試驗，或不嚴格按照現行標準中規定的無(wú)故障運行期(類(lèi)似壽命試驗)要求執行，只在無(wú)負載情況下運行，沒(méi)有達到耐久性和可靠性試驗的要求。因此，產(chǎn)品的故障率較高。行業(yè)標準制修訂中顧及大多數生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)能力，使有些技術(shù)指標偏低和標準涵蓋不全。

　　由于真空行業(yè)真空產(chǎn)品生產(chǎn)無(wú)強制性產(chǎn)品認證、生產(chǎn)許可證要求、近些年無(wú)國家質(zhì)量抽檢，企業(yè)生產(chǎn)狀況完全靠市場(chǎng)主導，不可避免有以次從好，假冒偽劣產(chǎn)品存在，制約行業(yè)健康發(fā)展。

　　3、建議

　　企業(yè)應該注重提高產(chǎn)品品質(zhì)，進(jìn)一步提升產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)指標，提高加工制造水平，重視產(chǎn)品性能測試和可靠性測試，使企業(yè)真正了解產(chǎn)品性能，有效的技術(shù)跟進(jìn)和技術(shù)改進(jìn)來(lái)完善產(chǎn)品，另外真空泵的性能質(zhì)量不僅僅取決于生產(chǎn)廠(chǎng)商的制造本身，大量的配套產(chǎn)品對真空泵的質(zhì)量也起到了至關(guān)重要的作用，真空泵生產(chǎn)廠(chǎng)商應該選用優(yōu)質(zhì)的配套產(chǎn)品，這對提高真空泵的產(chǎn)品質(zhì)量是至關(guān)重要的，如此才能打造具有市場(chǎng)競爭力的高品質(zhì)產(chǎn)品，注重市場(chǎng)需求，注重技術(shù)創(chuàng )新，加大新產(chǎn)品研制與技術(shù)改造的投入，在市場(chǎng)經(jīng)濟條件下，需求決定供給，買(mǎi)方市場(chǎng)對產(chǎn)品質(zhì)量、性能、品種、價(jià)格、服務(wù)會(huì )不斷提出新的要求，技術(shù)創(chuàng )新注重節能減排，著(zhù)重降低產(chǎn)品能耗、減震、降噪，開(kāi)發(fā)注重國際市場(chǎng)的開(kāi)拓，適合市場(chǎng)的新產(chǎn)品，是占領(lǐng)市場(chǎng)的法寶。加強真空行業(yè)質(zhì)量監督和管理、更好的發(fā)揮質(zhì)檢中心和標準化對行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的監督和引導作用。

　　真空行業(yè)為各行各業(yè)提供基礎裝備，其應用領(lǐng)域十分廣泛，并不斷擴大，如航天航空、核工業(yè)、冶金和冶煉、電工、電子信息的半導體、造紙、環(huán)保行業(yè)等等，真空設備的品種、性能、質(zhì)量和技術(shù)水平直接關(guān)系影響到國民經(jīng)濟的各行各業(yè)，特別是高新技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)裝備的能力，因此加強真空行業(yè)質(zhì)量監督和管理，通過(guò)國家真空設備質(zhì)量監督檢驗中心為行業(yè)提供檢驗檢測服務(wù)的渠道，掌握行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量狀況，為行業(yè)標準的制定提供可靠的技術(shù)支撐，為政府部門(mén)提供權威產(chǎn)品質(zhì)量數據和分析對策，為行業(yè)提供技術(shù)質(zhì)量基礎信息和發(fā)展建議，從而更好的引導企業(yè)產(chǎn)品升級和質(zhì)量提升，使真空行業(yè)健康發(fā)展。

　　技術(shù)標準是產(chǎn)品設計制造的靈魂，通過(guò)標準的提高和創(chuàng )新，帶動(dòng)和規范產(chǎn)品性能的提高，在標準修制訂中，要涉及環(huán)保、節能減排指標和瞄準國外先進(jìn)產(chǎn)品的指標，以提高國內產(chǎn)品的檔次，保證用戶(hù)的經(jīng)濟利益，引導企業(yè)采用先進(jìn)標準，推動(dòng)生產(chǎn)企業(yè)技術(shù)創(chuàng )新和技術(shù)改造，淘汰落后，推動(dòng)行業(yè)技術(shù)發(fā)展，提升產(chǎn)品質(zhì)量和市場(chǎng)競爭力。

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