最初的真空計是由托里拆利制作的一端封閉充滿(mǎn)水銀的細長(cháng)玻璃管發(fā)明的。根據測量的真空度范圍和使用環(huán)境,現在最常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。
這幾種真空計利用了不同的物理現象,其中電容式隔膜真空計利用的是力,熱電偶真空計利用的是熱傳導,電離真空計利用的是真空放電。
選用真空計時(shí)應該注意以下事項:
一:在設備要求的壓強范圍內,真空計是否有足夠的測量精度;
二:被測氣體是否會(huì )對真空計造成損傷;
三:真空計是否會(huì )對被測真空環(huán)境造成影響;
四:真空計所測壓強是全壓還是分壓,是否已校準,是否與氣體種類(lèi)有關(guān);
五:真空計能否實(shí)現連續測量,數值指示及反應時(shí)間如何;
六:真空計的穩定性、可靠性、壽命。
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