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　　氦質(zhì)譜檢漏是指從真空腔體外部用氦氣吹向被檢測部位，然后由連接在真空腔體上的氦質(zhì)譜檢漏儀來(lái)檢測侵入的氦氣，這是目前最為常用的真空檢漏方式。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理如圖1所示。

　　燈絲發(fā)出的熱電子加速流向陽(yáng)極，遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集極運動(dòng)的途中設置磁場(chǎng)，則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運動(dòng)。

　　離子的質(zhì)量為m，電荷為e，則圓形軌跡的半徑和質(zhì)荷比m/e有關(guān)。

　　合理設置出口縫隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿過(guò)縫隙，其他不同于氦質(zhì)荷比的離子因其偏轉半徑與儀器的狹縫設置不同而無(wú)法穿過(guò)出口狹縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測到一價(jià)氦離子。

　　使用氦質(zhì)譜檢漏儀，通常要求被檢測空間的真空度在10-3 Pa以下，檢測精度可達10-13 Pa·m3·s-1。

　　圖1　氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理圖

　　1—燈絲;2—陽(yáng)極;3—磁場(chǎng);4—狹縫;5—離子收集極;6—加速電極

　　氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的特點(diǎn)。

　　靈敏度、反應時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。

　　檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：

　　(1)對人體和自然環(huán)境沒(méi)有毒害;

　　(2)不能燃燒，作業(yè)安全;

　　(3)惰性氣體，和被檢測對象不會(huì )發(fā)生化學(xué)反應;

　　(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過(guò)微小縫隙，便于檢漏;

　　(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會(huì )堵住微漏孔;

　　(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;

　　(7)氦氣在空氣中的存在量?jì)H為5ppm，容易定點(diǎn)查清漏氣位置。

　　由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點(diǎn)所在。

　　當腔體構造復雜，或漏率極小時(shí)，可針對重點(diǎn)部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實(shí)現對特定重點(diǎn)部位的檢漏。

　　一般情況下，真空檢漏時(shí)要重點(diǎn)關(guān)注以下部位：

　　(1)法蘭接口部位;

　　(2)焊接部位;

　　(3)波紋管部位;

　　(4)其他密封部位。

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