真空鍍膜設備主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)－島狀結構-迷走結構-層狀生長(cháng)）形成薄膜。 對于濺射類(lèi)鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來(lái)，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，最終形成薄膜。
使用步驟
一、電控柜的操作
1. 開(kāi)水泵、氣源
2. 開(kāi)總電源
3. 開(kāi)維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開(kāi)機械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5. 觀(guān)察渦輪分子泵讀數到達250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀(guān)察真空度。真空到達2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。
二、DEF-6B電子槍電源柜的操作
1. 總電源
2. 同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會(huì )常亮。
3. 開(kāi)高壓，高壓會(huì )達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在1~1.7之間擺動(dòng)。
三、關(guān)機順序
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵
適用范圍
1．建筑五金：衛浴五金（如水龍頭）．門(mén)鎖．門(mén)拉手．衛浴、門(mén)鎖、五金合葉、家具等
2．制表業(yè)：可用于表殼．表帶的鍍膜、水晶制品
3．其它小五金：皮革五金．不銹鋼餐具．眼鏡框、刀具、模具等．
4．大型工件：汽車(chē)輪轂、不銹鋼板．招牌．雕塑等
5、不銹鋼管和板（各種類(lèi)型表面）
6、家具、燈具、賓館用具
7、鎖具、拉手、衛浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝飾膜。
8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米膜和納米疊層膜
維護和保養
1、真空鍍膜設備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復真空鍍膜設備擦洗真空室內壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。
2、當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法是：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數秒，使泵內的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀(guān)察）。連續使用半年以上，換油時(shí)應將油蓋打開(kāi)，用布擦干凈箱內污垢。
3、擴散泵連續使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯(lián)結水管，卸下電爐盤(pán)，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機。在重新開(kāi)機前，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好大門(mén)，數分鐘后，觀(guān)察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會(huì )燒環(huán)，真空鍍膜設備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。
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