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真空獲得裝置設備 |
真空的獲得方法
人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數目不斷減少的設備稱(chēng)為真空獲得設備或真空泵。目前在真空技術(shù)中,采用各種不同的方法,已經(jīng)能夠獲得和測量從大氣壓力105Pa到10-13Pa,寬達18個(gè)數量級的壓力范圍。顯然,只用一種真空泵,獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài),是十分困難的。
在真空獲得技術(shù)中,目前用以獲得真空的技術(shù)方法有兩種,一種是通過(guò)某此機構的運動(dòng)把氣體直接從密閉容器中排出;另一種是通過(guò)物理、化學(xué)等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。
真空泵在真空系統中所承擔的工作任務(wù)
由于各種真空泵的性能除均能滿(mǎn)足對容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外,尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空系統中所承擔的工作任務(wù)是十分重要的,泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來(lái)主要有如下幾個(gè)方面
1)在系統中做主泵
所謂主泵就是對真空系統被抽容器直接進(jìn)行抽真空,以獲得滿(mǎn)足工藝要求所需真空度的真空泵。
2)粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開(kāi)始降低真空系統壓強達到另一抽氣系統可以開(kāi)始工作的真空泵。
3)前級泵
前級泵是指用于使另一個(gè)泵的前級壓強維持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵。
4)維持泵
維持泵是指當真空系統抽氣很小時(shí),不能有效的利用主要前級泵。為此,在真空系統中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來(lái)維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。
5)粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開(kāi)始,降低被抽容器的壓強后工作在低真空或粗真空壓強范圍內的真空泵。
6)高真空泵
高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。
7)超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。
8)增壓泵
增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣系統在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。
真空泵型號及規格的表示方法
根據中華人民共和國機械行業(yè)標準JB/T7673-95的規定,國產(chǎn)各種真空泵是由基本型號和輔助型兩部分組成,兩者中間為一橫線(xiàn)。其表達型式為123—456。格中數字123表示基本型號,456表示輔助型號。
國產(chǎn)真空泵的型號通常以表3-2中的漢語(yǔ)拼音字母來(lái)表示。若在拼音字母前冠以“2”字,則表示泵在結構上為雙級泵。
某些真空泵系列對其抽氣速率則以幾何級數來(lái)分檔。其單位是“L/S”。共分18個(gè)等級,分別為0.2,0.5,1,2,4,8,15,30,70,150,300,600,1200,2500,5000,10000,20000,40000。真空泵系列有時(shí)也可用泵的入口尺寸來(lái)表示,其單位是“mm”。由于泵的種類(lèi)較多,選用時(shí)應參閱不同生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)式樣本,是很重要的。
表3-2 常用真空泵的漢語(yǔ)拼音代號及名稱(chēng)
代 號 |
名 稱(chēng) |
W |
往復真空泵 |
D |
定片真空泵 |
X |
旋片真空泵 |
H |
羅茨真空泵(機械增壓泵) |
YZ |
余擺線(xiàn)真空泵 |
L |
濺射離子泵 |
XD |
單級多旋片式真空泵 |
F |
分子泵 |
K |
油擴散真空泵 |
Z |
油擴散噴射泵(油增壓泵) |
S |
升華泵 |
LF |
復合式離子泵 |
GL |
鋯鋁吸氣劑泵 |
DZ |
制冷機低溫泵 |
DG |
灌注式低溫泵 |
IF |
分子篩吸附泵 |
SZ |
水環(huán)泵 |
PS |
水噴射泵 |
P |
水蒸氣噴射泵 |
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