先進(jìn)的電影架構 - 多層膜，納米層，納米復合材料

    野馬真空系統（MVS）具有顯著(zhù)的經(jīng)驗，在開(kāi)發(fā)和制造的產(chǎn)業(yè)規模PVD沉積室下一代摩擦膜系統，使厚的多層，精細的納米層或納米復合結構。

CSM儀器編號：N.Randall                       多諾霍等（1995）                   魯等人（2005年）

    MVS已策略性地開(kāi)發(fā)了一個(gè)靈活的沉積范圍個(gè)別層通常為微米厚（訂購）濺射多層涂層使用，HIPIMS或轉向電弧蒸發(fā)技術(shù)，適用范圍廣，要求苛刻的應用，包括侵蝕/耐磨性和增強高速銑削過(guò)程能力切削加工。 例子包括金屬/金屬氮化物沉積或金屬氮化物/金屬氮化物和硬涂層+低摩擦面涂架構實(shí)現順序要利用適當的沉積源切換期間適當的反應氣體流量的控??制開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現的架構。

    最近通過(guò)精確控制在反應濺射和蒸發(fā)沉積速率從不同的源材料，精確控制基板的旋轉頻率和源材料的反應行為的理解，MVS已另外開(kāi)發(fā)能力，以一系列精美的共沉積，納米分層（典型的重復周期2-10nm的）結構薄膜，在產(chǎn)業(yè)規模和傳統工藝相比，沒(méi)有生產(chǎn)力的損失。 量身定制，并顯著(zhù)提高機械（硬度，韌性等），熱和摩擦學(xué)性能比傳統的單片結構薄膜，這些薄膜可以表現。

MVS摩擦學(xué)系統也可以被配置為提供，通過(guò)以往的過(guò)渡金屬基陶瓷的硬質(zhì)材料，而與適當的共價(jià)鍵，例如Si ₃ N ₄或BN氮化物物種的共沉積，制造能力的納米復合結構的硬質(zhì)涂層的反應沉積。