高功率脈沖磁控濺射（HIPIMS）

    野馬真空系統（MVS）有在產(chǎn)業(yè)規模PVD沉積室，包括大面積HIPIMS陰極能夠提供廣泛的增強部件的耐磨性和性能的獨特結構的硬盤(pán)，摩擦學(xué)涂料生產(chǎn)的重要經(jīng)驗。

    在2005年和2007年，MVS是在北美的第一個(gè)商業(yè)組織接受和使用電源（Chemfilt / SINEX的Huettinger）工業(yè)HIPIMS濺射應用。 自該日起顯著(zhù)的進(jìn)步和研發(fā)，導致其日常規范中的各種金屬和陶瓷的商業(yè)涂料應用。

    該技術(shù)適用于非常高的功率密度的脈沖（> 1000Wcm ^-2，可選擇的脈沖持續時(shí)間50-200μS和100-500Hz的頻率）的磁控管陰極產(chǎn)生異常高的等離子密度為10 ¹⁹米^-3或更大的順序。 這種脈沖的功率密度可以顯著(zhù)更高水平電離（最多約80％）比通常出現在常規的磁控濺射工藝（約1-2％）釋放的靶表面的金屬物種。

樓盤(pán)，等Helmersson固體薄膜，513，1-2，2006，1-24。

    這些特性可以被用于產(chǎn)生顯著(zhù)的變化，膜的密度和優(yōu)選的生長(cháng)方向/方位。 HIPIMS薄膜表現出非常光滑的表面，而不創(chuàng )造過(guò)量輻射采暖或宏觀(guān)粒子摻入通常使用時(shí)如發(fā)現電弧蒸發(fā)源。 這導致致密，粘附膜，即使在非常低的襯底溫度是從宏觀(guān)生長(cháng)缺陷。