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| 擴散泵維修 |
擴散泵的工作原理
擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。
高真空泵擴散泵主要結構有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等。
擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導流管由各級噴嘴定向高速?lài)姵?。由于擴散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著(zhù)蒸氣方向高速運動(dòng)，氣體分子碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達到抽氣目的。
擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為機器能運作在最佳狀態(tài)，平時(shí)對擴散泵的維護和保養非常重要。
1,擴散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。
2,擴散泵停止工作時(shí)，泵內應保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。
3,被抽氣體應是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。
4,擴散泵如暫時(shí)不用，保管期間應該保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場(chǎng)地的室溫應在10-40攝氏度之間。
5,擴散泵在長(cháng)期工作后性能會(huì )逐漸變壞，應定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮進(jìn)行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。
6,待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機。
7,在重新開(kāi)機前，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維護泵，關(guān)好大門(mén)，數分鐘后，觀(guān)察真空度是否6*10的0帕，否則要進(jìn)行檢漏，檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會(huì )燒壞，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)
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